技术规格
(1)移动范围: X 轴驱动部: 100mm
电动立柱(垂直方向):250mm
(2)Z 轴测量范围:1000μm(粗糙度时)、50mm（轮廓度时）
(3)直 线 度:粗糙度时(0.05+1.0L/1000)μm ,L:测量长度 (mm)
轮廓度时1μm/100μm
(4)测量精度(轮廓): Z 轴(垂直方向)指示精度 ±(1.8+│2H│/100)
μm Z 轴分辨率 0.1μm/50mm
X 轴(横方向)指示精度±(1+2L/100)μm ,L=测量长度（mm）
粗糙度精度:X 轴分辨率0.1μm
(5)粗糙度解析项目:测量参数 (JIS ,ISO,DIN,ASME,CNOMO 等标准)
评价曲线 (断面曲线,粗度曲线,波纹度曲线等)、特性图形 (负荷曲线,
振幅分布曲线等)
(6)记录倍率: 纵倍率(粗糙度用) 50,100,200,500,1K,2K,5K,10K,等
及自动
横倍率(粗糙度用) 50,100,200,500,1K,2K,5K,10K,等及自动
纵倍率(轮廓用) 0.01～10,000,000 倍(任意,自动可)
横倍率(轮廓用) 0.01～10,00,000 倍(任意,自动可)
(7)滤波种类:标准型滤波(2CR),位相补偿滤波(2CR),高斯滤波.
(8)取样长度:0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm(7 种)及任意.
(9)驱动速度:粗糙度0.03～3mm/s ;波纹度 0.03～20mm/s
(10)传感器: 差动变压式原理和光栅尺
(11)轮廓处理功能: 点,直线,部分园,椭圆,点,小点,距离,坐标
差,极坐标差,直交/极坐标表示.公差要素(点-直线,直线-直线,圆-圆,
直线-椭圆,圆-椭圆 等)。 对称要素(点-点,点-圆,直线-直线,圆-圆,
圆-椭圆,椭圆-椭圆) 原点设定,X 轴设定,坐标系的平行移动/回转移动
等等
(12)其他相关参数详见产品样本(相关参数以样本为主).